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奧林巴斯3D激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS5000

型號:LEXT OLS5000

更新時間:2019-08-13

訪問次數:468

簡要描述:

我司專業代理銷售奧林巴斯3D激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS5000,設有相關產品專員,專業負責相關產品的技術服務。奧林巴斯OLS5000 3D測量激光共聚焦顯微鏡采用了高級光學係統,可通過非破壞觀察生成高畫質的圖像進行精確的3D測量、符合ISO標準的表麵粗糙度測量等,其準備工作也非常簡單且無需對樣品進行預先處理。

奧林巴斯3D激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS5000

我司專業代理銷售奧林巴斯3D激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS5000,設有相關產品專員,專業負責相關產品的技術服務。奧林巴斯OLS5000 3D測量激光共聚焦顯微鏡采用了高級光學係統,可通過非破壞觀察生成高畫質的圖像進行精確的3D測量、符合ISO標準的表麵粗糙度測量等,其準備工作也非常簡單且無需對樣品進行預先處理。

 

 

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學係統(彩色成像光學係統和激光共焦光學係統)讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡有4大關鍵價值:

·         捕捉任意表麵形狀。

·         快速獲得可靠數據。

·         使用簡單 - 隻需放置樣品並按一下按鈕即可。

·         測量具有挑戰性的樣品。

價值1:捕捉任意表麵形狀。

 

OLS5000顯微鏡的先進技術使其能夠進行高分辨率的3D樣品測量。

價值2、快速獲得可靠數據

該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質量又可提高速度,從而縮短您的掃描時間,簡化您的工作流程,zui終實現生產力的提升。

價值3、使用簡單,隻需放置樣品並按一下按鈕即可

LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動數據采集功能,因而無需進行複雜的設置調整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準確的檢測結果。

價值4、可測量具有挑戰性的樣品

低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品製備。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品,而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時,您隻需將樣品放在載物台上即可。

[獲取彩色信息]
彩色成像光學係統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學係統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用於測量樣品的表麵不規則性。

[405納米激光光源]

光學顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光(峰值550納米)的傳統顯微鏡具有更優的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得卓越的橫向分辨率。

[激光共焦光學係統]

激光共焦光學係統僅接收通過圓形針孔聚焦的光線,並非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助於消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像

[X-Y掃描儀]

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描儀。通過將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,能夠讓X-Y掃描儀定位於相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的卓越X-Y掃描。

[高度測量原理]

在測量高度時,顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
根據非連續的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個像素的光強變化曲線(I-Z曲線),並獲得其峰值位置和峰值強度。由於所有像素的峰值位置與樣品表麵的不規則性相對應,因此可以獲得樣品表麵的3D形狀信息。與此類似,通過峰值強度數據可以獲得針對樣品表麵所有位置焦點的圖像(擴展圖像)。

主機規格:

型號

OLS5000-SAF

OLS5000-SMF

OLS5000-LAF

OLS5000-EAF

OLS5000-EMF

總倍率

54x - 17,280x

視場直徑

16 μm - 5,120 μm

測量原理

光學係統

反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡
彩色
彩色DIC

光接收元件

激光:光電倍增管(2ch)
色彩:CMOS 彩色相機

高度測量

顯示分辨率

0.5 納米

動態範圍

16

可重複性 n-1 *1 *2 *6

20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm

精度 *1 *3 *6

測量值 +/- 1.5%

拚接圖像精度 *1 *4 *6

20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拚接長度 [μm])

測量噪聲(SQ 噪聲)*1 *5 *6

1 納米

寬度測量

顯示分辨率

1 納米

可重複性 3 n-1 *1 *6

20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm

精度 *1 *3 *6

測量值 +/- 1.5%

拚接圖像精度 *1 *3 *6

20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拚接長度 [μm])

單次測量時測量點的zui大數量

4096 x 4096 像素

測量點的zui大數量

3600 萬像素

XY 載物台配置

長度測量模塊

工作範圍

100 x 100 mm 電動

100 x 100 mm 手動

300 x 300 mm 電動

100 x 100 mm 電動

100 x 100 mm 手動

zui大樣品高度

100 mm

30 mm

30 mm

210 mm

140 mm

激光光源

波長

405 nm

 

zui大輸出

0.95 mW

 

激光分類

2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)

 

彩色光源

白光 LED

電氣功率

240 W

240 W

278 W

240 W

240 W

質量

顯微鏡主體

約 31 公斤

約 30 公斤

約 50 公斤

約 43 公斤

約 39 公斤

控製器

約 12 公斤

        

 

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