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奥林巴斯3D激光共聚焦显微镜LEXT OLS5000

型号:LEXT OLS5000

更新时间:2019-08-13

访问次数:468

简要描述:

我司专业代理销售奥林巴斯3D激光共聚焦显微镜LEXT OLS5000,设有相关产品专员,专业负责相关产品的技术服务。奥林巴斯OLS5000 3D测量激光共聚焦显微镜采用了高级光学系统,可通过非破坏观察生成高画质的图像进行精确的3D测量、符合ISO标准的表面粗糙度测量等,其准备工作也非常简单且无需对样品进行预先处理。

奥林巴斯3D激光共聚焦显微镜LEXT OLS5000

我司专业代理销售奥林巴斯3D激光共聚焦显微镜LEXT OLS5000,设有相关产品专员,专业负责相关产品的技术服务。奥林巴斯OLS5000 3D测量激光共聚焦显微镜采用了高级光学系统,可通过非破坏观察生成高画质的图像进行精确的3D测量、符合ISO标准的表面粗糙度测量等,其准备工作也非常简单且无需对样品进行预先处理。

 

 

LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。

LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜有4大关键价值:

·         捕捉任意表面形状。

·         快速获得可靠数据。

·         使用简单 - 只需放置样品并按一下按钮即可。

·         测量具有挑战性的样品。

价值1:捕捉任意表面形状。

 

OLS5000显微镜的先进技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量。

价值2、快速获得可靠数据

该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,zui终实现生产力的提升。

价值3、使用简单,只需放置样品并按一下按钮即可

LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。

价值4、可测量具有挑战性的样品

低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品,而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时,您只需将样品放在载物台上即可。

[获取彩色信息]
彩色成像光学系统使用利用白光LED光源和CMOS相机获取彩色信息。
[获取3D 高度信息和高分辨率共焦图像]
激光共焦光学系统采用405纳米激光二极管光源和高灵敏度光电倍增管获得共焦图像。浅焦深使其能够用于测量样品的表面不规则性。

[405纳米激光光源]

光学显微镜的横向分辨率随着波长的减小而获得提升。采用短波长激光的激光显微镜相比采用可见光(峰值550纳米)的传统显微镜具有更优的横向分辨率。 OLS5000显微镜利用405纳米短波长激光二极管获得卓越的横向分辨率。

[激光共焦光学系统]

激光共焦光学系统仅接收通过圆形针孔聚焦的光线,并非采集从样品上反射和散射的所有光线。这样有助于消除模糊,让其能够获得比普通显微镜对比度更高的图像

[X-Y扫描仪]

OLS5000显微镜配有奥林巴斯光学扫描仪。通过将采用电磁感应MEMS谐振扫描仪的X轴与采用Galvano扫描振镜的Y轴相结合,能够让X-Y扫描仪定位于相对物镜瞳镜共轭的位置,因而能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的卓越X-Y扫描。

[高度测量原理]

在测量高度时,显微镜通过自动移动焦点位置获取多个共焦图像。
根据非连续的焦点位置(Z)和检测光强度(I)可以估算每个像素的光强变化曲线(I-Z曲线),并获得其峰值位置和峰值强度。由于所有像素的峰值位置与样品表面的不规则性相对应,因此可以获得样品表面的3D形状信息。与此类似,通过峰值强度数据可以获得针对样品表面所有位置焦点的图像(扩展图像)。

主机规格:

型号

OLS5000-SAF

OLS5000-SMF

OLS5000-LAF

OLS5000-EAF

OLS5000-EMF

总倍率

54x - 17,280x

视场直径

16 μm - 5,120 μm

测量原理

光学系统

反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC 显微镜
彩色
彩色DIC

光接收元件

激光:光电倍增管(2ch)
色彩:CMOS 彩色相机

高度测量

显示分辨率

0.5 纳米

动态范围

16

可重复性 n-1 *1 *2 *6

20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm

精度 *1 *3 *6

测量值 +/- 1.5%

拼接图像精度 *1 *4 *6

20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])

测量噪声(SQ 噪声)*1 *5 *6

1 纳米

宽度测量

显示分辨率

1 纳米

可重复性 3 n-1 *1 *6

20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm

精度 *1 *3 *6

测量值 +/- 1.5%

拼接图像精度 *1 *3 *6

20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [μm])

单次测量时测量点的zui大数量

4096 x 4096 像素

测量点的zui大数量

3600 万像素

XY 载物台配置

长度测量模块

工作范围

100 x 100 mm 电动

100 x 100 mm 手动

300 x 300 mm 电动

100 x 100 mm 电动

100 x 100 mm 手动

zui大样品高度

100 mm

30 mm

30 mm

210 mm

140 mm

激光光源

波长

405 nm

 

zui大输出

0.95 mW

 

激光分类

2 类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)

 

彩色光源

白光 LED

电气功率

240 W

240 W

278 W

240 W

240 W

质量

显微镜主体

约 31 公斤

约 30 公斤

约 50 公斤

约 43 公斤

约 39 公斤

控制器

约 12 公斤

        

 

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