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奥林巴斯MX63/MX63L 半导体/FPD检查显微镜

型号:MX63/MX63L

更新时间:2019-08-12

访问次数:437

简要描述:

我公司专业代理经销奥林巴斯MX63/MX63L 半导体/FPD检查显微镜,为客户提供专业的售前产品咨询和售后安装服务。奥林巴斯新推出的MX63和MX63L半导体检测显微镜具备优异的光学性能、适合大样品的检测、先进的人体工学设计等诸多优点将会有助电子制造行业的发展更上一层楼。

我公司专业代理经销奥林巴斯MX63/MX63L 半导体/FPD检查显微镜,为客户提供专业的售前产品咨询和售后安装服务。奥林巴斯新推出的MX63和MX63L半导体检测显微镜具备优异的光学性能、适合大样品的检测、先进的人体工学设计等诸多优点将会有助电子制造行业的发展更上一层楼。

奥林巴斯MX63/MX63L 半导体/FPD检查显微镜

现今智能手机产业的蓬勃发展带动了包括半导体、平板显示(FPD)、印制电路板(PCB)等整个电子制造业的飞速进步。奥林巴斯新推出的MX63MX63L半导体检测显微镜具备优异的光学性能、适合大样品的检测、先进的人体工学设计等诸多优点将会有助电子制造行业的发展更上一层楼。

 

新推出的MX63/MX63L半导体检测显微镜具备有如下的特点:

从不可见到可见:MIX观察与采集

新MX63/MX63L是该系列率先支持奥林巴斯MIX照明功能的产品,由此进一步提升了该显微镜的观察能力。MIX可将暗场与明场、荧光或偏振等其他观察方法结合使用。在很多应用中,MIX能够帮助用户观察到使用传统显微镜难以看到的缺陷

长寿命高强度白色LED照明:始终*的色温

新MX63/MX63L显微镜配备了高强度白光LED光源,兼顾低功耗和长寿命的优点,而且其稳定的色温为可靠的图像质量和精确的色彩复现提供了保障。

功能性:适合所有晶园尺寸

新MX63/MX63L显微镜特别适用于半导体、平板显示、印制电路板等行业的大尺寸样品检测。MX63可用于晶圆直径200mm,MX63L可用于晶圆直径300mm。此外,新显微镜还可以选配晶园搬送机,实现可靠、安全、高效的对晶圆正面和背面进行检测

模块化:全面可定制

新MX63/MX63L显微镜的模块化设计让检测者能够根据应用需要选择组件。两款显微镜均按洁净室应用而设计,并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有电动组件均安装在屏蔽结构内,镜架、镜筒以及其他部件均经过防静电处理。

 

人性化:满足人体工学的设计

新MX63/MX63L显微镜采用人体工学设计,可以快速设置调整和简易控制。更换物镜以及调整孔径光阑的控制位于显微镜前面较低的位置,因此用户在使用过程中可始终保持透过目镜观察而无须松开对焦旋钮。电动物镜转盘旋转迅速,在缩短检测间隔时间的同时还可让操作者的手始终在晶圆下方,降低可能存在的污染风险。

凭借这些强大的观察功能和简单的操作特性,MX63/MX63L工业检测显微镜能够实现快速高效的实现大尺寸样品检测。

 

 

 

MX63

MX63L

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正系统)

显微镜镜架

反射光照明
(FN 26.5)

白光LED (带有光强管理器) 12伏100瓦卤素灯, 100瓦汞灯 明场/暗场/分光镜组,手动切换。(分光镜为选配件。)
通过手动操作更换3位置分光镜编码
内置电动孔径光阑 (针对每个物镜预设, 暗场观察时自动全开) 观察模式: 明场、暗场、微分干涉 (DIC)*1, 简单偏振*1, 荧
光*1, 红外*1 和MIX观察 (4个定向暗场)
*1 选配分光镜, 2 需要MIX观察配置

透射光照明
(FN 26.5)

需要透射光照明单元MX-TILLA或MX-TILLB。
带有聚光器(NA 0.5) 的透射光照明单元和孔径光阑:MX-TILLA
带有聚光器(NA 0.6) 的透射光照明单元和孔径光阑和视场光阑:MX-TILLB
光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦卤素灯) 导光:LG-SF
观察模式: 明场, 简单偏振

聚焦

行程:32毫米
每转行程微调:100微米
最小分度:1微米
用于粗调的上限限位器和扭矩调节

最大负载重量(包括载物台
和支架)

8 kg

15 kg

观察筒

宽视场
(FN 22)

正像三目观察筒:U-ETR4
正像倾斜式三目观察筒:U-TTR-2
倒像三目观察筒:U-TR30-2、U-TR30IR (用于红外观察)
倒像双目观察筒:U-BI30-2
倒像倾斜式双目观察筒:U-TBI30

超宽视场
(FN 26.5)

正像倾斜式三目观察筒:MX-SWETTR (光程切换100% (目镜):0 (相机) 或0:100%) 正像倾斜式三目观察筒:U-SWETTR
(光程切换100% (目镜) :0 (相机) 或 20% :80%) 倒像三目观察筒:U-SWTR-3

电动物镜转盘

明场
六孔电动转盘,带DIC插槽:U-D6REMC
五孔可调中心电动转盘,带DIC插槽:U-P5REMC
明场和暗场
六孔电动转盘,带DIC插槽:U-D6BDREMC
五孔电动转盘,带DIC插槽:U-D5BDREMC
五孔可调中心电动转盘,带DIC插槽:U-P5BDREMC

载物台 (X × Y)

带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC8R
行程:210 x 210毫米
透射光照明区域:189 x 189毫米 带内置离合驱动的同轴
右手柄:
MX-SIC6R2
行程:158 x 158毫米 (仅适用于反射光)

带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC1412R2
行程:356 x 305毫米
透射光照明区域:356 x 284毫米

重量

约50公斤 (显微镜架37.5公斤)

约64公斤 (显微镜架44公斤)

 

 

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