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奧林巴斯MX63/MX63L 半導體/FPD檢查顯微鏡

型號:MX63/MX63L

更新時間:2019-08-12

訪問次數:437

簡要描述:

我公司專業代理經銷奧林巴斯MX63/MX63L 半導體/FPD檢查顯微鏡,為客戶提供專業的售前產品谘詢和售後安裝服務。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L半導體檢測顯微鏡具備優異的光學性能、適合大樣品的檢測、先進的人體工學設計等諸多優點將會有助電子製造行業的發展更上一層樓。

我公司專業代理經銷奧林巴斯MX63/MX63L 半導體/FPD檢查顯微鏡,為客戶提供專業的售前產品谘詢和售後安裝服務。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L半導體檢測顯微鏡具備優異的光學性能、適合大樣品的檢測、先進的人體工學設計等諸多優點將會有助電子製造行業的發展更上一層樓。

奧林巴斯MX63/MX63L 半導體/FPD檢查顯微鏡

現今智能手機產業的蓬勃發展帶動了包括半導體、平板顯示(FPD)、印製電路板(PCB)等整個電子製造業的飛速進步。奧林巴斯新推出的MX63MX63L半導體檢測顯微鏡具備優異的光學性能、適合大樣品的檢測、先進的人體工學設計等諸多優點將會有助電子製造行業的發展更上一層樓。

 

新推出的MX63/MX63L半導體檢測顯微鏡具備有如下的特點:

從不可見到可見:MIX觀察與采集

新MX63/MX63L是該係列率先支持奧林巴斯MIX照明功能的產品,由此進一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結合使用。在很多應用中,MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統顯微鏡難以看到的缺陷

長壽命高強度白色LED照明:始終*的色溫

新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強度白光LED光源,兼顧低功耗和長壽命的優點,而且其穩定的色溫為可靠的圖像質量和精確的色彩複現提供了保障。

功能性:適合所有晶園尺寸

新MX63/MX63L顯微鏡特別適用於半導體、平板顯示、印製電路板等行業的大尺寸樣品檢測。MX63可用於晶圓直徑200mm,MX63L可用於晶圓直徑300mm。此外,新顯微鏡還可以選配晶園搬送機,實現可靠、安全、高效的對晶圓正麵和背麵進行檢測

模塊化:全麵可定製

新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設計讓檢測者能夠根據應用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔淨室應用而設計,並符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動組件均安裝在屏蔽結構內,鏡架、鏡筒以及其他部件均經過防靜電處理。

 

人性化:滿足人體工學的設計

新MX63/MX63L顯微鏡采用人體工學設計,可以快速設置調整和簡易控製。更換物鏡以及調整孔徑光闌的控製位於顯微鏡前麵較低的位置,因此用戶在使用過程中可始終保持透過目鏡觀察而無須鬆開對焦旋鈕。電動物鏡轉盤旋轉迅速,在縮短檢測間隔時間的同時還可讓操作者的手始終在晶圓下方,降低可能存在的汙染風險。

憑借這些強大的觀察功能和簡單的操作特性,MX63/MX63L工業檢測顯微鏡能夠實現快速高效的實現大尺寸樣品檢測。

 

 

 

MX63

MX63L

光學係統

UIS2光學係統(無限遠校正係統)

顯微鏡鏡架

反射光照明
(FN 26.5)

白光LED (帶有光強管理器) 12伏100瓦鹵素燈, 100瓦汞燈 明場/暗場/分光鏡組,手動切換。(分光鏡為選配件。)
通過手動操作更換3位置分光鏡編碼
內置電動孔徑光闌 (針對每個物鏡預設, 暗場觀察時自動全開) 觀察模式: 明場、暗場、微分幹涉 (DIC)*1, 簡單偏振*1, 熒
光*1, 紅外*1 和MIX觀察 (4個定向暗場)
*1 選配分光鏡, 2 需要MIX觀察配置

透射光照明
(FN 26.5)

需要透射光照明單元MX-TILLA或MX-TILLB。
帶有聚光器(NA 0.5) 的透射光照明單元和孔徑光闌:MX-TILLA
帶有聚光器(NA 0.6) 的透射光照明單元和孔徑光闌和視場光闌:MX-TILLB
光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素燈) 導光:LG-SF
觀察模式: 明場, 簡單偏振

聚焦

行程:32毫米
每轉行程微調:100微米
最小分度:1微米
用於粗調的上限限位器和扭矩調節

最大負載重量(包括載物台
和支架)

8 kg

15 kg

觀察筒

寬視場
(FN 22)

正像三目觀察筒:U-ETR4
正像傾斜式三目觀察筒:U-TTR-2
倒像三目觀察筒:U-TR30-2、U-TR30IR (用於紅外觀察)
倒像雙目觀察筒:U-BI30-2
倒像傾斜式雙目觀察筒:U-TBI30

超寬視場
(FN 26.5)

正像傾斜式三目觀察筒:MX-SWETTR (光程切換100% (目鏡):0 (相機) 或0:100%) 正像傾斜式三目觀察筒:U-SWETTR
(光程切換100% (目鏡) :0 (相機) 或 20% :80%) 倒像三目觀察筒:U-SWTR-3

電動物鏡轉盤

明場
六孔電動轉盤,帶DIC插槽:U-D6REMC
五孔可調中心電動轉盤,帶DIC插槽:U-P5REMC
明場和暗場
六孔電動轉盤,帶DIC插槽:U-D6BDREMC
五孔電動轉盤,帶DIC插槽:U-D5BDREMC
五孔可調中心電動轉盤,帶DIC插槽:U-P5BDREMC

載物台 (X × Y)

帶內置離合驅動的同軸右手柄:MX-SIC8R
行程:210 x 210毫米
透射光照明區域:189 x 189毫米 帶內置離合驅動的同軸
右手柄:
MX-SIC6R2
行程:158 x 158毫米 (僅適用於反射光)

帶內置離合驅動的同軸右手柄:MX-SIC1412R2
行程:356 x 305毫米
透射光照明區域:356 x 284毫米

重量

約50公斤 (顯微鏡架37.5公斤)

約64公斤 (顯微鏡架44公斤)

 

 

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