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奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡

型號:STM7

更新時間:2019-08-09

訪問次數:291

簡要描述:

作為奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡的廠家長期合作經銷商,红杏免费视频网站承諾所銷售的OLYMPUS奧林巴斯顯微鏡百分之百原廠產品,為客戶提供詳細專業的售前產品谘詢及選型,優惠的產品價格及專業細致的售後產品安裝服務及維修服務!

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奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡

通過整合光學顯微鏡和先進的測量能力實現精確測量
多年的顯微鏡開發經驗成就了優異的觀察性能STM7奧林巴斯測量顯微鏡係列采用了當前先進光學顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學係統。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被完全消除,以確保實現對微小細節的高精度測量。

 

STM7測量顯微鏡係列采用了當前先進光學顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學係統。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被完全消除,以確保實現對微小細節的高精度測量。

 

為了進一步保證測量精度,采用了一個配備花崗岩基座的高度耐用和防振動的鏡架。由於花崗岩的高穩定性,使測量可到達亞微米水平,同時確保更大程度地降低誤差。

花崗岩精雕細琢而成的載物台基座增強了測量的可靠性

作為高度測量的先鋒,繼續提供簡單易操作的高精度3軸測量


            共聚焦自動對焦係統光路

隨著現代製造技術日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平麵的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦係統的公司,以此響應了這種與日俱增的需求。

嚴格的可追溯係統確保品質可靠
奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯係統控製測量顯微鏡的精確度。並且在安裝係統時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務。

測量顯微鏡跟蹤係統

設計注重易用性

提供載物台以適合眼下的樣本大小
[常見問題]
 
短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
Ÿ 目前為止,大型載物台在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉樣品來補償比X軸覆蓋範圍要短的Y軸行程,這樣的做法費事費時,效率不高。
Ÿ 由於可測量的範圍窄,無法將數量較多的樣品排列在載物台上,以實現一次性同時測量。
[STM7解決方案]
    共有四種獨特的正方形測量行程的載物台可供選用,分別為:50 mm×50 mm100 mm×100 mm200 mm×200 mm
300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物台會適合您要測量的樣品。
Ÿ 采用離合器係統可以在粗調和微調之間實現快速切換。具備了這種切換功能之後,載物台也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動,並且可以在XY平麵上自由穿梭。
Ÿ 300 mm長的方形載物台在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉樣品就實現大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察
[常見問題]

大部分傳統的測量顯微鏡隻可以專用測量物鏡或專用金相物鏡,無法同時滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
 

 

可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡,而更換為物鏡轉盤後,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學係統和測量光學係統同時結合在一台測量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測量大型樣品還是精細樣品,或是表麵高度差異大的樣品,STM7係列都可以對應並協助用戶選擇更佳的觀察方法。
測量物鏡
由於測量物鏡具有非常長的工作距離,因此可以在對表麵起伏較大的樣品進行聚焦的時候,無需擔心物鏡與樣品之間發生接觸。此外,借助測量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場。

金相物鏡
可以得到和光學顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場觀察之外還可以對應暗場,偏光和微分幹涉觀察。

手動和電動調焦模式的選擇
包括手動調焦和電動調焦兩個係列

對於Z軸的上下調焦,有手動型和電動型兩種係列供您選擇。請根據樣品和測量內容選擇符合您需求的機型,而不需要考慮載
物台的尺寸。所有的鏡架均內置Z軸線性標尺,各種型號STM7都可以對應3軸測量。

 

手動Z軸調焦機型提供了卓越的成本效益——通過操作被廣泛使用的調焦旋鈕,可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。


            電動Z軸調焦機型

使用電動調焦裝置可以大幅提高操作性,並減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調焦的同軸旋鈕設計使使用者可以以習慣的類似手動的方式進行操作,同時電動機型還可以配備自動聚焦單元。

一個具有突破性設計的控製單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性
[常見問題]

Ÿ 增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導致無法高效率地進行測量。操作時也經常會發生找不到操作單元的情況。
Ÿ 增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導致無法高效率地進行測量。操作時也經常會發生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案]
控製裝置
對於STM7係列,隻要使用單一的操作裝置能夠執行幾乎所有的測量顯微鏡操作,包括重置計數器、照明控製、調焦和自動聚焦等功能。為了提高效率和方便性,您可以將裝置放在任何想要放置的位置,並可以輕鬆地單手操作。


            用於手動Z軸調焦機型:
STM7-HS手動操作裝置


            用於電動Z軸調焦機型:
STM7-MCZ電動操作裝置

控製箱
各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控製箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設計可以更大程度地減少占用工作空間。
大大提高了觀察和測量效率的光源管理器
[常見問題]

Ÿ 傳統測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調節方式不能實現光強的定量控製。這樣每次測量時的光強無法保持*,導致測量值也發
生變化。
Ÿ 使用傳統測量顯微鏡時,每次切換物鏡後都需要調節光強,這使得工作流程非常低效。
[STM7解決方案]
能夠定量掌握光源亮度的數字式顯示

 

STM7測量顯微鏡能夠實現光強的定量數字化顯示,保證了能在始終*的照明條件下實施觀察。

物鏡切換時,無需手動調節光強
光強度管理器可以與編碼物鏡轉盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉盤會自動識別目前使用的物鏡,結合光源管理器的預設
值功能,可以為每個物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當切換物鏡後,可以自動調節光強和調整照明方式。象以前每次
切換倍率後手動調節光強的操作,現在就可以省略了。


5
            強度50


            20X
強度70


            100X
強度120

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數器,確保能隨時迅速地檢查測量結果和設備狀態。
[常見問題] 

需要檢查諸如照明狀態等設備運行狀以及測量結果時,因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。
[STM7解決方案]
能一目了然確認當前狀態的計數器
計數器帶有顯示設備狀態和設置的指示燈,可以簡單的實現對設備當前設定狀態的確認。XYZ軸的最小單位可以在
0.1 μm1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計數器
無論是安裝在鏡架上還是放置在工作台上,可拆卸式計數器都可以根據用戶的使用狀況和使用習慣放置在適合位置。當用戶站
著進行測量時,可以將計數器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側,以方便輕鬆的觀察和檢查結果。當用戶通過數碼相
機在顯示器上進行觀察和測量,或使用電動Z軸調焦機型時,隻需將計數器和操作裝置放在工作台上即可輕鬆地坐在椅子上進
行作業。


            計數器安裝在鏡架上


            計數器放置在工作台上

高度測量:聚焦導航係統
實現更快、更簡單、更精確的高度測量
[[常見問題]

進行目視測量時,不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外,這種測量方法非常耗時,效率低下。
[STM7解決方案]
具有優越的重複性、簡單且高度精確的聚焦係統
通過將圖案投影在視場範圍內,由操作者確認上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導航係統實現了重複性高的高度測量操作。普通的目測觀察進行高度測量時,即使是看上去非常清晰的已經完全合焦的圖像,也會出現微小誤差。而使用STM7的聚焦導航係統,隻需匹配標記便可進行測量,因此減少了操作者的主觀性對測量結果造成的影響。
目視高度測量

聚焦導航係統


            焦點下方


            焦點位置


            焦點上方

自動聚焦的優勢成就快速、高精度的高度測量
[常見問題]

Ÿ 進行目視測量時,不同的操作者得出的高度測量結果也會不一樣。
Ÿ 手動高度測量需要操作者反複進行移動載物台,使用旋鈕調焦的操作,這使測量既耗時又低效。
Ÿ 很難對微小的物體聚焦,比如引線。
[STM7解決方案]
快速、精準的聚焦和不受操作者主觀影響的測量
奧林巴斯開發了STM7係列專用的自動聚焦單元,該單元在實現快速聚焦的同時,保障了卓越的對焦重複性。因此,無論操作
者的經驗如何,均可以在很短的時間內實現高度精確的高度測量。無論操作者的經驗如何,使用STM7專用自動對焦單元均可
以在最短時間內實現高度精確的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表麵,利用主動反射、共聚焦方法都可以實現穩定對焦,而小直徑的激光,也能保證對微小物體,比如引線的自動對焦。

 

 

單次對焦模式
執行自動聚焦後,可瞬間完成從大致的聚焦狀態轉為視場中心的清晰對焦。
跟蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式後會隨樣品表麵的高低起伏自動對焦,即使在移動工作台的情況下,也可以始終保持合焦狀態。這使得操作者在手不需要離開XY手柄的情況下也能實施觀察,從而極大地提高了Z軸的測量效率。
拓寬了測量觀察範圍的配件
編碼物鏡轉換器

 

將編碼物鏡轉盤與數碼照相機配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率,以方便您記錄倍率。同時切換倍率
            時也能與軟件中記錄的校準值和光強連動調整設置。有明場物鏡和明暗場物鏡兩種供您選擇。

MM6-EMO正像單目鏡筒

 

正立圖像用單目鏡筒。可與MM6-OCC10×(帶十字線的目鏡)配套使用。

STM7-FS腳踏開關

 

實現了不需要用手進行數據傳輸,使操作者可以在手不離開XY手柄的情況下完成測量。

SZ-LW61白光LED照明裝置

 

具有小型,輕便,使用壽命長,功耗低等特點。此外,這款高性價比的LED照明單元也不會發生閃爍和亮度波動。

SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環形照明+手動控製裝置

 

SZX-RHS手動控製單元可以實現SZX2-ILR66反射LED環形照明裝置的四段獨立照明,並提供具有較高色溫的清晰圖像。可以從13種模式中選擇更佳的照明。


旋轉載物台
使用微調旋鈕可以輕鬆實現對樣品的平行對齊。


STM7-RS100
            STM7-CS100 100mm×100mm
載物台


STM7-RS200
            STM7-CS200 200mm×200mm
載物台


STM7-RS300
            STM7-CS300 300mm×300mm
載物台

測量支持係統
即使對複雜形狀也能實現更快、更簡單、更精確的測量
對於顯示測量顯微鏡輸出的數據和圖像來說,看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。為了支持高精度、高複雜性的測量,奧林巴斯測量軟件可以和數碼照相機結合使用。
 

STM7規格

 

小型手動鏡架
STM7-SF

小型電動鏡架
STM7-SFA

中型手動鏡架
STM7-MF

中型電動鏡架
STM7-MAF

大型手動鏡架
STM7-LF

大型鏡架
STM7-LFA

顯微鏡
鏡架


聚焦

垂直移動範圍

175 mm

145 mm

最大的測量高度

120 mm(配備測量物鏡)
175 mm(配備金相物鏡)

90 mm(配備測量物鏡)
145 mm*1(配備金相物鏡)

Z軸測量分辨率

0.1 μm

Z軸驅動方法

手動同軸
微調/粗調
焦旋鈕

電馬達驅動:
聚焦按鈕:
移動速度
8 mm/s(最大)
/粗調焦旋鈕:
微調焦速度(旋轉
一周移動量)
4檔可供選擇
(800 μm400μm,
100 μm
50 μm)

手動同軸
微調/粗調
焦旋鈕

電馬達驅動:
聚焦按鈕:
移動速度
8 mm/s(最大)
/粗調焦旋鈕:
微調焦速度(旋轉
一周移動量)
4檔可供選擇
(800 μm400μm,
100 μm
50 μm)

手動同軸
微調/粗調
焦旋鈕

電馬達驅動:
聚焦按鈕:
移動速度
8 mm/s(最大)
/粗調焦旋鈕:
微調焦速度(旋轉
一周移動量)
4檔可供選擇
(800 μm400μm,
100 μm
50 μm)

照明

LED照明

白色:用於反射光照明,綠色:用於透射光照明

鏡筒

正像單目鏡筒,正像三目鏡筒(100:0/0:100)

物鏡

測量顯微鏡用

MM6-OB係列

金相顯微鏡用

MPLFLN 係列, LMPLFLN 係列, MPLFLN-BD 係列, LMP LFLN-BD 係列

目鏡

MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)

載物台

測量範圍

STM7-CS50:
X
50 mm, Y 50 mm
STM7-CS100:
X
100 mm, Y 100 mm

STM7-CS200:
X
200 mm, Y 200 mm

STM7-CS300:
X
300 mm, Y 300 mm

測量精確度
(L:測量長度)

STM7-CS50: (3+L/50) μm
STM7-CS100: (3+2L/100) μm

(3+4L/200) μm

(3+6L/200) μm

精確度保證重量

STM7-CS50: 5 kg
STM7-CS100: 6 kg

10 kg

15 kg

計數器顯示

軸數

3

單位

毫米/微米/英寸/密耳

最小分辨率

0.1 μm

外形尺寸(寬××高)(mm

466 x 583
x651

466 x 583 x 811

606 x 762 x 651

606 x 762 x 811

804 x 1024 x 686

804 x 1024 x 844

重量

84 kg

92 kg

152 kg

159 kg

277 kg

284 kg

額定功率

100-120/220-
240V ~
50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.3A/0.2A

100-120/220-
240V ~ 50/60Hz
0.6A/0.35A

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時,可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸後方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離

倍率

1x

3x

5x

10x

20x

50x

100x

物鏡

測量物鏡

MM6-OB係列

59.6

76.8

65.4

50.5

-

-

-

金相物鏡

MPLFLN係列

明場

-

-

20.0

11.0

3.1

1.0

1.0

LMPLFLN係列

長工作距離

-

-

22.5

21.0

12.0

10.6

3.4

MPLFLN-BD係列

明場/暗場

-

-

12.0

6.5

3.0

1.0

1.0

LMPLFLN-BD係列

明場/暗場
長工作距離

-

-

15.0

10.0

12.0

10.6

3.3

 

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