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台階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA

型號:KLA-Tencor D-300 D-500

更新時間:2019-06-13

訪問次數:2212

簡要描述:

台階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA,垂直分辨率:0.38A,它廣泛應用於太陽能薄膜材料、半導體矽片、微電子器件、薄膜化學塗層、平板顯示器等研究領域。在新型薄膜材料的開發研究工作上極為重要。

台階儀的工作原理。台階儀主要的工作就是測量,當台階儀的觸針在被測的物體表麵輕輕滑過時,被接觸的物體表麵微小的峰穀就會讓觸針在進行滑行的同時也做一些上下運動。因此表麵輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運動情況所體現出來。當輸出的信號經過測量的電橋之後,輸出的信號與觸針的平衡位子的位移此刻成正比,調幅的信號也就隨之出現,經過放大和整流之後,位移信號就從調幅信號中解調出來了,信號就變得相應緩慢,半導體厚度測試台階儀,也就能在控製器中被讀出來。隨之噪音濾波器以及波度濾波器會對調製頻率以及外界的幹擾信號等因素進行進一步的過濾,誤差所帶來的影響也隨之減小。 

 

典型應用:太陽能電池、太陽能集熱器等 PVD(物理氣相沉積)太陽能塗層研究,對薄膜材料常規性能的檢測台階膜厚儀

它廣泛應用於太陽能薄膜材料、半導體矽片、微電子器件、薄膜化學塗層、平板顯示器等研究領域。在新型薄膜材料的開發研究工作上極為重要。

美國KLA-Tencor公司

在四十年來半導體及相關產業發展中,KLA-Tencor作為工藝控製領域的行業領跑者,借助創新的光學技術、精準的傳感器係統以及高性能計算機信息處理技術,持續研發並不斷完善檢測、量測設備及數據智能分析係統。

生產,品牌AlphaStep,型號 D-300台階儀 D-500台階儀

台階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA AlphaStep D-300 已升級成D-500台階儀

台階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA AlphaStep D-300主要產品特性:

1)垂直分辨率: 0.38A

2) Z測量重複精度:保證5A重複性(1um台階標樣,無需防震台,用2um探針驗收)

3)掃描時***小正壓力: 0.5mg (軟件可編程選擇和自動控製,無需手動)

4)采樣點數400,000

5)探針曲率半徑2微米

6)KLA-Tencor標定證書的1um標樣一塊

7)斜視光學係統,500萬像素彩色攝像頭Keystone圖像糾正

8)係統配有150x150mm口徑的超大超厚超光滑平晶

9)具有雙向掃描測量的功能

 

更多技術參數歡迎提供樣品測試服務。

 

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