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恒温真空匀胶机烤胶机Spin Coater

型号:ST200

更新时间:2019-06-12

访问次数:329

简要描述:

恒温真空匀胶机烤胶机Spin Coater采用空间式加热的控温型匀胶机,可以进行边加热边旋转的控温匀胶操作,对提高胶体流动性,加速溶剂挥发,匀胶后直接烤胶等操作提供了便利的解决方案。控温精度高、重复性好,技术先进,性能优良。标配4英寸真空吸盘,加热速度快,控温精度高。不同尺寸基片为保证紧密接触加热转盘,可定制设计更换。

恒温真空匀胶机/控温型匀胶机/真空匀胶烤胶机Spin Coater 

恒温真空匀胶机烤胶机Spin Coater 产品简介: 
主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。 

可以完成有机物的匀胶。(摄氏温度200度以下)。 

完成匀胶时,还可以完成烤胶。 

 

采用空间式加热的控温型匀胶机,可以进行边加热边旋转的控温匀胶操作,对提高胶体流动性,加速溶剂挥发,匀胶后直接烤胶等操作提供了便利的解决方案。

控温精度高、重复性好,技术先进,性能优良。

    标配4英寸真空吸盘,加热速度快,控温精度高。不同尺寸基片为保证紧密接触加热转盘,可定制设计更换。

 

恒温真空匀胶机烤胶机Spin Coater 特性:

1、空间式恒温加热,室温-200℃。精度0.1℃

2、可以完成有机物的匀胶。(摄氏温度200度以下)

 完成匀胶时,还可以完成烤胶。

3、可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程。

4、每个涂敷工艺过程可以设置51步不同的速度状态;

5、可以控制加速度

6、平稳转速,预设值与实际值误差率1‰。有视频为证(如想观看视频,请联系我)

7、端跳1mm的±2.5%

 


主要特点: 
高精度多程序控制器: 

可设定存储26个不同样片的旋转涂敷工艺过程。 

每个涂敷工艺过程可以设置25步不同的匀速度状态; 

加速度及负加速度可自主控制。 

液晶显示屏可以实时显示: 
      1.    第N个涂敷工艺过程 
      2.    所处工作段 
      3.    真空吸片状态。 
      4.    设置时间;及实时运行时间。 
      5.    设置速度;及实时速度状态。 

中英文两套操作系统供选择。 

人机交互式对话,简洁,明了。 

仪器真空吸片系统更安全: 
旋涂仪安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度, 
必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。 

频伺服电机,转速精度更高: 
300 - 10000转/分,转速稳定性:+ - 0.1 % 
转速10000转/分 

不锈钢机壳 聚四氟(塑料王)材质工作腔  
不锈钢机壳,外表面洁净光亮。美观,方便清洗。 

温度控制系统 :
       工作腔内板式加热体,加热均匀。 
       控制温度范围:室温--摄氏温度200度。 
 聚四氟(塑料王)材质工作腔 

技术参数: 
     单相交流电源:220V.50Hz 
     电机功率:150W 
    旋转真空吸盘直径:4英寸(102mm,标准配置) 
     可选择配置:基片直径10—200mm可接受订货。 
     转数:300 - 10000转/分。 
     可设定时间:1---9999秒。 
     控制温度:室温--摄氏温度200度。 
     控制精度:1摄氏度 
 

标准包装: 
结构尺寸:260mm宽x 350mm深x 260 mm高, 
可选配件:

1、60升/分有油真空泵 

2、特殊真空吸盘 

3、70升/分无油真空泵

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